2022年1月3日，星空体育官网硕士研究生季宇成等同学在AIP Advances上发表了一篇题为“A micro-thin-film getter–heater unit for high vacuum capsulation of MEMS devices”的研究论文。

该论文研究了MEMS器件高真空封装用薄膜吸气剂的随时激活技术。针对MEMS器件高真空封装时吸气剂的激活困难以及封装后真空腔内真空度降低等问题，作者提出了一种新的吸气剂激活方式：将薄膜吸气剂集成在一个微型薄膜加热器上，通过向微加热器通电（比如，2V的定电压），就可以随时把吸气剂加热到激活温度。这种方式不仅避免了吸气剂激活时间点和激活次数的限制，也避免了传统的整体激活方式对吸气剂以外器件的热损伤。此集成单元可以用MEMS工艺制造，可以与MEMS器件一起进行晶圆级封装，适合量产。这一研究为需要吸气剂的高真空封装和真空腔内真空度维持提供了一种新技术，还可以大大延长MEMS器件的使用寿命。

该工作在上海微技术工业研究院8寸MEMS研发中试线完成，由季宇成与冯刘昊东、郭松、彭鑫林、陈朔等同学协作完成。他们的指导教师是星空体育官网联聘导师、上海微技术工业研究院副总经理王诗男博士。该研究将作为一个攻关课题在国家重点研发计划“智能传感器”重点专项中进一步展开，作者决心将其打造成可应用到MEMS产品的一项特色工艺。