吴衍青 研究员

邮箱：wuyanqing@zjlab.ac.cn

中国科学院上海高等研究院

导师介绍：

理学博士，研究员，博士生导师。上海光源软X射线干涉光刻线站负责人。长期从事软X射线干涉光刻技术的研究、同步辐射光束线理论及技术研究；应用神经网络技术发展新型X射线成像探测技术；探索超表面硅基微纳光学应用。主持国家自然科学基金面上项目课题、主持中国科学院上海大科学中心研发项目课题，以及科技部重大专项子课题。以主要参加者参加中科院大科学装置维修改造项目课题、中科院大科学装置开放研究项目课题等。近五年以第一作者或责任作者公开发表论著20篇。

研究方向：

软X射线干涉光刻技术及应用、X射线成像探测器、同步辐射光学以及超表面应用。

教育背景：

2000年博士毕业于中科院上海光机所

1992年本科毕业于复旦大学

工作经历：

2018年10月-至今 中科院上海高研院研究员，博导

2004年07月-2018年09月中科院上海应物所副研究员，研究员，博导

2001年11月-2004年02月 韩国浦项工大 博士后

2000年01月-2001年11月 复旦大学博士后

1992年07月-2000年12月中科院上海光机所 助理研究员

科研成果及获奖情况：

（1）一种闪烁体探测系统,发明, 2016,第1作者,专利号:授权公布号：CN105784734A

近五年代表性论文：

（1）Near-infrared plasma cavity metasurface with independently tunable double Fano resonances,Results in Physics, 2021,通讯作者

（2）Great enhancement of image details with high fidelity in a scintillator imager using an optical coding method，Photonics research,2020,通讯作者

（3）The recent development of soft x-ray interference lithography in SSRF, Int. J. Extrem. Manuf., 2020, 通讯作者

（4） Parallel direct writing achromatic talbot lithography: a method for large-area arbitrary sub-micron periodic nano-arrays fabrication, Nanotechnology, 2019, 通讯作者

（5） The wave optical whole process design of the soft X-ray interference lithography beamline at SSRF, J. Synchrotron Rad., 2018, 通讯作者

（6）Fabrication of large-area high-aspect-ratio periodic nanostructures on various substrates by soft X-ray interference lithography, Applied Surface Science, 2017, 通讯作者