古元冬 博士

邮箱：Alex.Gu@shu.edu.cn

上海星空体育官网 院长

上海微技术工业研究院 高级副总经理（产品与技术）

导师介绍：

本研究组的主要研究方向是MEMS传感器及MEMS/ASIC集成的智能传感器和微系统。依托上海微技术工业研究院先进的8英寸研发中试线，实现设计-加工-测试的全流程器件性能迭代优化。目前团队的研究重点是围绕物理气相沉积的高性能压电氮化铝（AlN）薄膜这一CMOS兼容的换能材料进行超声测距芯片、超声流量芯片、超声指纹芯片、射频滤波器等一系列高端芯片及传感器/ASIC的单片集成的系统性研发。基于压电氮化铝薄膜工艺平台的系列功能器件的成功开发有望为困扰MEMS传感器“一个器件，一套工艺”的产业现状提供良好的借鉴意义。

感知是未来智能社会的基石，低功耗微型传感器是实现感知的必由之路，MEMS是微型化的主要方法，超低功耗ASIC和传感器的集成是低功耗微型传感器的主要手段。毫不夸张的说MEMS传感器和超低功耗ASIC的集成是“感知为本”的智能社会的支柱。本课题组的研究就是紧扣“传感”和“MEMS/ASIC集成”这两大主题展开。

本课题组招收物理、材料力学、微电子、信息、精密仪器等相关专业背景的硕士生、博士生、博士后、科研助理，欢迎有志之士加入，共同推动我国MEMS传感器及智能微系统的发展。

研究方向：

MEMS传感器；MEMS/CMOS单片集成；超结构光学等

教育背景：

2003年博士毕业于美国明尼苏达大学(University of Minnesota)

2001年硕士毕业于美国明尼苏达大学(University of Minnesota)

工作经历：

2018年-至今 上海微技术工业研究院 高级副总经理（产品与技术）

2013年-2018年 新加坡微电子研究院(IME) 执行副院长/主任

2010年-2013年 美国霍尼韦尔公司(Honeywell International) 首席科学家

2002年-2010年 美国霍尼韦尔公司 传感器与无线技术实验室 高级科学家(IV)

科研成果及获奖情况：

美国授权专利24项；国际学术期刊及专业顶级会议发表论文130余篇

新加坡高新科技局  杰出创新团队奖（2016年）

新加坡工程师协会  杰出工程成就奖（2014年）

美国国防高等研究计划署（DARPA）  年度标志性成果（2013年）

近五年代表性论文：

1、Biosensors: ZnO Nanosheets Abundant in Oxygen Vacancies Derived from Metal‐Organic Frameworks for ppb‐Level Gas Sensing; Hongye Yuan, …Yuandong Gu, Jifang Tao,Dan Zhao; Advanced Materials, 2019, 31(11).

2、Low-Cost, Tiny-Sized MEMS Hydrophone Sensor for Water Pipeline Leak Detection; Jinghui Xu; …;Yuandong Gu*; IEEE Transactions on Industrial Electronics, August 2019, Vol.66(8), pp.6374-6382.

3、Development Of 6-Degree-of-Freedom (DOF) Inertial Sensors With A 8-inch Advanced MEMS Fabrication Platform; Guoqiang Wu, …Yuandong Gu; IEEE Transactions on Industrial Electronics, 2018, pp.1-1.

4、ScAlN-Based LCAT Mode Resonators Above 2 GHz With High FOM and Reduced Fabrication Complexity; Yao Zhu, … andYuandong Gu; IEEE Electron Device Letters, October 2017, Vol.38(10), pp.1481-1484.

5、Improving the hydrogen selectivity of graphene oxide membranes by reducing non-selective pores with intergrown ZIF-8 crystals; Xuerui Wang, …Jifang Tao, …Alex Gu Yuandongand Dan Zhao; Chemical Communication, 2016, Vol.52(52), pp.8087-8090.

已授权专利：

1、Yuandong Gu, US patent, US 8376031B2

Blowerless heat exchanger based on micro-jet entrainment.

2、Yuandong Gu, US patent, US 8335083B2

Apparatus and method for thermal management using vapor chamber.

3、Yuandong Gu, US patent, US 8241919B2

Gas pulse generator for baseline drift correction and related system and method.

4、Yuandong Gu, US patent, US 8241397

Adsorptive gas sampler using ionic nano-droplets.

5、Yuandong Gu, US patent, US 8221098

Radial turbomolecular pump with electrostatically levitated rotor.